电子束曝光系统（）
项目所在采购意向：
年至月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
电子束曝光系统（）
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他电工、电子生产设备
采购需求概况 ：
. 曝光特征尺寸（最小线宽）≤；. 电子束最高电压；. 套刻精度≤±； . 写场拼接精度≤±；. 电子束束流最高达。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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