多腔室真空互连镀膜与表征系统
项目所在采购意向：
年至月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
多腔室真空互连镀膜与表征系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他试验仪器及装置
采购需求概况 ：
需求套：. 真空度优于 ×- ；.薄膜沉积厚度控制精度优于. ； .四英寸外延片的片内沉积厚度均匀性优于%；.腔内原位薄膜监测成分精度.%。质保期年
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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