有机金属化学气相沉积
项目所在采购意向：
年至月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
有机金属化学气相沉积
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电气物理设备
采购需求概况 ：
台 垂直式进气方式； 样品尺寸满足*，*，*，*，*： 采用直流电源加热，最高加热温度℃，温度偏差小于.℃； 包含路硫源源，路钼源源和路气态源； 材料种类：型； 最高工艺温度：℃； 外延尺寸：兼容英寸晶圆。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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