深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开

深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况: 板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（×尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于/寸晶圆，适配、的材质，适应以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。 预计采购时间: - 联系人: 党老师 联系电话: 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准