深圳大学甲酸回流刻蚀系统意向公开

深圳大学甲酸回流刻蚀系统意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 甲酸回流刻蚀系统 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况: 甲酸回流刻蚀系统需深度融合无氧环境控制、多材料改性、智能参数调控与数据驱动优化技术，构建半导体异质异构集成核心装备。系统通过自动甲酸回流机（支持/英寸晶圆，氧浓度动态控制≤）实现高可靠性互连，结合板级槽式玻璃通孔蚀刻机（-μ孔径灵活加工）的蚀刻控制，及强酸供液系统（/高效供液）的精准化学管理，形成从材料键合到结构成型的全链条解决方案。 预计采购时间: - 联系人: 张老师 联系电话: 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准