湖北工业大学关于电子科学与技术学科实验平台招标预告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将湖北工业大学年(至)月政府采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额 （万元） 预计采购时间 （填写到月） 备注 电子科学与技术学科实验平台 采购内容:其他电机采购数量:台主要功能或目标:步进式紫外曝光系统台；超快激光微纳直写系统套；多功能球焊键合机台；逻辑电路验证平台套；需满足的要求:曝光系统对准精度≤. μ，样片尺寸可为寸或 寸；微纳直写系统要求定位精度优于.μ，行程可达，纳米定位系统分辨率可达.；球焊键合，压力范围: ～，每可调；验证平台芯片每套系统逻辑单元 ()不小于，支持逻辑配置和仿真； 紫外曝光系统用于芯片光刻工艺，可应用于.和等先进封装；超快激光微纳直写系统配置高精度运动电机，配置窄脉宽激光 - 详见招标文件 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 湖北工业大学 年月日