深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开

深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开 采购单位: 深圳技术大学 项目名称: 教学线器件图形化结构制作设备 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 其他仪器仪表 采购需求概况: 、 接触式双面光刻机. 曝光面积：英寸；. 光源：紫外，曝光波长：：-/；. 分辨率：；对准精度：±.（双面，片厚.）±.（单面）、洁净烘箱. 容 积（）：双腔体；. 温度： ～ ℃多段程序控制。、匀胶烘胶一体机. 集成匀胶机及可编程热板一体化设备； . 匀胶机样品尺寸支持英寸（）圆晶及以下尺寸或碎片。含碎片、英寸、英寸、英寸、碎片托盘各一个；. 转速范围：-，转速精度及重复性：±；单步转动时间设置范围：-，旋转时间分辨率：；. 热板可编程，样品尺寸：为英寸（）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-℃。、显影烘胶一体机. 集成显影机及可编程热板一体化设备；. 显影机样品尺寸：支持英寸（）圆晶及以下尺寸或碎片，含碎片、英寸、英寸、英寸铝合金托盘各一个；. 转速范围：-，转速精度及重复性：±；单步转动时间设置范围：-，旋转时间分辨率：；. 自动显影：路显影液供给管路，路供给，路；. 可编程热板样品尺寸：为英寸（）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温-℃，温度均匀性：±.℃@范围。、有机清洗台. 超声槽槽体材质：内槽：石英；外槽：；管件材质：/；溶液温度：-±℃；. 槽槽体材质：聚丙烯（）；管件材质：/；溶液温度：； . 水洗槽槽体材质：聚丙烯（）；管件材质：/；溶液温度：；、冷藏柜. 体积大于；. 温控范围-....