低温超深宽比反应离子刻蚀系统
项目所在采购意向：
中国科学院上海技术物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称：
低温超深宽比反应离子刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他仪器仪表
采购需求概况 ：
低温刻蚀深度：~ μ；最小特征尺寸：~ ；晶圆内的均一性&;%； 刻蚀深度：~ μ；最小特征尺寸： μ；晶圆内的均一性&;%；
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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