为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔〕号)等有关规定,现将物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等项政府采购意向公开如下: 序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注 物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目 真空腔室: ()。前后门(铝)带φ观察窗:前门自动平移,后门手动(把手)。抽气口(带过滤),接口:底部电子枪,顶部。烘烤:≤℃。带窗及。漏率&; .×??·/。 抽气与真空: 分子泵(/) + 机泵(/)。极限真空&;.- (分钟恢复至.-)。阀门:气动角阀(预抽/前级),插板阀(主)。复合真空计(大气~-)。 电子枪(-): 加速电压-~- (/.)。°偏转。扫描范围± (/)。操作真空&;×?。水冷~/。配*坩埚及手操器。 样品台: 英寸兼容。旋转(-),升降(步进/)。水冷(不控温)。电动挡板。 膜厚仪: - (基板侧晶体/快换)。速率分辨率&;.?/。 水冷保护: 总进出水接~℃制冷机。出水水流传感器异常报警。 控制: 寸触摸屏+。控:泵阀启停/状态、互锁(抽/放)、实时温度(设置/显示曲线)、挡板位置。声光报警(水压/气压/门位/分子泵/膜厚探头)。急停:关主阀/分子泵/电源。 功能: 自动抽真空/停机,工艺手动。 年月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 郑....
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