尾气处理等设备工艺配套系统 项目所在采购意向: 东南大学年至月政府采购意向 采购单位: 东南大学 采购项目名称: 尾气处理等设备工艺配套系统 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 其他电气设备 采购需求概况 : 尾气处理等设备工艺配套系统,套 主要技术要求如下:需完成尾气处理旁通增加、尾气处理设备气体增加、光刻机新增需求、清洗区废液提升管路、刻蚀机、深硅刻蚀系统、匀胶显影机、等离子体增强化学气相沉积系统(寸)的动力配电工程、工艺配电采购及安装、工艺排气采购及安装、工艺管道采购及安装、工艺气体及特气采购及安装等相关工艺设备配套工程采购;主管路改造等所有技术要求内包含内容。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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