上海大学关于高通量材料沉积系统招标预告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将上海大学年月政府采购意向如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额（元） 预计采购时间（填写到月） 备注 高通量材料沉积系统 高通量材料沉积系统，套。采购标的需实现的主要功能和需满足的质量要求：实现片材和棒材表面的高精度薄膜沉积，系统需配备一套阳极层离子束源支持能量可调，配置-套磁控溅射阴极， 配置-套金属电弧专用阴极模块，并兼容相当于-英寸靶材的高效溅射需求，不同模块间支持协同工作。满负荷运行小时膜厚均匀性偏差≤±%。服务要求：供货周期合同签订后个月（含安装调试），提供年整机质保（含离子源阴极靶材耗材除外），小时内应急响应服务。 . - 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 上海大学 /