锑化物感应耦合等离子体（）刻蚀系统
项目所在采购意向：
中国科学院半导体研究所年月政府采购意向
采购单位：
中国科学院半导体研究所
采购项目名称：
锑化物感应耦合等离子体（）刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况 ：
拟购置的锑化物专用感应耦合等离子体刻蚀设备，针对锑化物半导体材料特性设计配置设备，以获得高刻蚀速率、大的刻蚀选择比、高陡直度刻蚀、侧壁光滑以及良好的均匀性和重复性等结果，从而保证低损伤、高填充率的探测器台面刻蚀，满足锑化物半导体探测器芯片的高质量台面刻蚀要求。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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