原子层刻蚀系统
项目所在采购意向：
华中科技大学年月政府采购意向
采购单位：
华中科技大学
采购项目名称：
原子层刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
工艺试验机
采购需求概况 ：
&;#;拟购原子层刻蚀系统套。 主要技术指标： 、英寸向下兼容； 、射频：频率.，上射频额定功率≥，下射频额定功率≤； 、配备快速切换阀，响应时间&;;； 、气路总数可达路，每路入口配有截止阀； 、质保：自验收合格之日起两年； 、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。&;#;
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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