电子束蒸镀机
项目所在采购意向：
华中科技大学年月政府采购意向
采购单位：
华中科技大学
采购项目名称：
电子束蒸镀机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
工艺试验机
采购需求概况 ：
&;#;拟购电子束蒸镀机台。 主要技术指标： 、温度可以高达摄氏度，误差为+/-%； 、”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ&;; .%, 。 、设备可以运行最大”晶圆，并向下兼容； 、设备预留多个功能模块位置，可以方便升级，添加其他功能模块，如磁控溅射、离子刻蚀、等； 、质保：自验收合格之日起两年； 、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。&;#;
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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