脉冲激光沉积系统
项目所在采购意向：
华中科技大学年月政府采购意向
采购单位：
华中科技大学
采购项目名称：
脉冲激光沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
工艺试验机
采购需求概况 ：
&;#;拟脉冲激光沉积系统台。 主要规格参数： 、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥ /)和进口涡旋干泵(抽速≥. /)，腔体与分子泵之间配有气动闸板阀，本底真空度优于-； 、靶台：靶材尺寸及数量：φ英寸× 个；每个靶材均可实现自转、公转，自转速率≤ ，由电机控制；可在公转方向上摆动扫描，以实现激光对靶材的均匀烧蚀； 、配备进口电子枪，电子枪能量最高可达 ，工作气压最高可达. （ ）； 、配备进口离子源，电源功率大于，流量计； 、质保：自验收合格之日起两年； 、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。&;#;
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
