英寸槽式湿法蚀刻机
项目所在采购意向：
年月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
英寸槽式湿法蚀刻机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况 ：
主要用于-材料刻蚀，以及部分，等物质的蚀刻工艺。机台为全自动 槽式湿法刻蚀机，要求配置多个花篮用于承接不同材质晶圆，有高温， ，-蚀刻液等化学品槽，且化学槽模块之间工艺独立，水槽不共用，避免交叉污染。要求良好的清洗效果和金属污染控制，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。
预计采购时间：
-
备注：
/
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
