离子束刻蚀系统
项目所在采购意向：
中国科学院半导体研究所年月政府采购意向
采购单位：
中国科学院半导体研究所
采购项目名称：
离子束刻蚀系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况 ：
拟购置的离子束刻蚀可对半导体、绝缘体、金属进行高稳定性、高重复性、低损伤氩离子物理刻蚀。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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