感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统设备 项目所在采购意向: 年月政府采购意向 采购单位: 采购项目名称: 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统设备 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况 : 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统设备主要用于传感器成膜工艺,生产低应力薄膜、镀膜。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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