干法刻蚀工艺交互式系统
项目所在采购意向：
大连理工大学年月政府采购意向
采购单位：
大连理工大学
采购项目名称：
干法刻蚀工艺交互式系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空应用设备
采购需求概况 ：
干法刻蚀工艺交互式系统，包括感应耦合等离子体刻蚀原理机台和感应耦合等离子体刻蚀工艺设备台，以及正常使用所需外围条件。感应耦合等离子体刻蚀原理机应包括：晶圆传输腔、射频腔、软件控制系统、安全模块；反应腔配备真空仿真管道系统，射频电源仿真模型；真空系统配备工业机械真空泵、皮拉尼真空规、电磁阀、放气阀；软件部分配备控制软件，可视化图形操作界面,能够模拟系统实时状态参数的显示；配有虚拟现实模块，包含自动和手动拆解功能，可还原设备外观和使用环境。感应耦合等离子体刻蚀工艺设备，主要参数应满足：真空室尺寸不小于Φ×，可放置英寸样片片或小尺寸散片多片；极限真空度：≤×-，泵体具有耐腐蚀性；刻蚀不均匀性：≤±％；刻蚀距离调节范围：-，自动调节，调节精度；六路进气（耐腐蚀），流量控制涵盖，，挡位；功率-可调，基座功率不低于。提供运输、安装和售后服务。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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