高阻衬底单片型硅像素探测器芯片工艺验证及流片项目 项目所在采购意向: 中国科学院高能物理研究所年至月政府采购意向 采购单位: 中国科学院高能物理研究所 采购项目名称: 高阻衬底单片型硅像素探测器芯片工艺验证及流片项目 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 采购需求概况 : 制程工艺流片,需支持使用欧姆厘米以上高阻衬底寸晶圆,需提供完整模拟和数字电路设计库,并能按照采购单位设计要求调整工艺、增加或调整光罩层,预期年月之前可完成工艺调整和芯片流片。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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