深硅刻蚀设备
项目所在采购意向：
上海交通大学年月政府采购意向
采购单位：
上海交通大学
采购项目名称：
深硅刻蚀设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他仪器仪表
采购需求概况 ：
深硅刻蚀设备，台，深硅刻蚀设备要求为：）刻蚀深度：– µ；）深宽比：&;;：；）刻蚀速率：– µ/；）侧壁垂直度：≥ °。供货期：签订合同之日起，个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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