晶圆临时键合设备 项目所在采购意向: 年月政府采购意向 采购单位: 采购项目名称: 晶圆临时键合设备 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 其他试验仪器及装置 采购需求概况 : . 基板尺寸英寸及向下兼容 . 温度≤℃,精度≤±%,均匀性≤±.%或≤±℃(取大者) . 键合压力,控压精度≤±%,压力均一性≤±%或≤±(取大者) 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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