英寸非接触式光刻机
项目所在采购意向：
中国科学院上海技术物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称：
英寸非接触式光刻机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
航天专用工艺设备
采购需求概况 ：
. 曝光光源：汞灯（线），投影图形: ； . 最大光刻面积：英寸； . 分辨率：优于.μ (正性光刻胶厚度)； . 套刻精度：优于±； . 拼接精度：± . 曝光时间：≤@ （全片超过.亿个多边形结构）； . 掩模版下表面与芯片上表面之间距离不小于。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
