高通量电子束蒸发薄膜制备系统 项目所在采购意向: 重庆大学年月政府采购意向 采购单位: 重庆大学 采购项目名称: 高通量电子束蒸发薄膜制备系统 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 真空应用设备 采购需求概况 : 该系统采用前开门式不锈钢腔体设计,配备分子泵组、进样室、穴电子束蒸发源、高通量模块、霍尔离子源、高精度石英晶体膜厚仪,拟建设为一套集超高真空环境、精密膜厚控制与高通量制备功能于一体的先进薄膜沉积平台。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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