高通量电子束蒸发薄膜制备系统
项目所在采购意向:
重庆大学年月政府采购意向
采购单位:
重庆大学
采购项目名称:
高通量电子束蒸发薄膜制备系统
预算金额:
.万元(人民币)
采购品目:
真空应用设备
采购需求概况 :
该系统采用前开门式不锈钢腔体设计,配备分子泵组、进样室、穴电子束蒸发源、高通量模块、霍尔离子源、高精度石英晶体膜厚仪,拟建设为一套集超高真空环境、精密膜厚控制与高通量制备功能于一体的先进薄膜沉积平台。
预计采购时间:
-
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
快捷阅读