超长高度多弧离子镀膜机
项目所在采购意向：
中国科学院近代物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院近代物理研究所
采购项目名称：
超长高度多弧离子镀膜机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空应用设备
采购需求概况 ：
、名称：超长高度多弧离子镀膜机 、目标：建设核孔膜材料功能化的材料沉积设备，有效制备宽幅兼容及终端核孔膜的辐照宽幅，可实现在平级级核孔膜表面沉积金属、金属合金、部分金属氮化物。 、数量：套。 、技术指标： （）真空腔体材质：及以上材质；（）有效镀膜区域：直径≥ 、高度≥ ；（）极限真空优于×- ；（）真空规测试范围：大气压-×- ；（）抽速：从大气压抽.-，≤分钟(空炉、冷态)；（）沉积方式：多弧离子镀和中频磁控溅射； （）沉积材料包括：金属（、等）、金属合金、金属氮化物，对于和沉积提供工艺交付；（）基底温度范围：室温- ℃、加热精度：± ℃；（）厚度均匀性≤±%；（）含电气控制系统： 全自动控制，可运行多种工艺设置和安全保护； 、质量和服务：（）投标方需为本项目配备足够的售后服务力量，具有国内本地化的服务团队。（） 投标方售后服务响应时间：电话响应时间要求小时内，到场响应时间要求个工作日内（指从接到报障至到达故障现场的时间）。（）投标方免费提供技术支持热线电话。（）投标方免费提供技术支持，并且在小时内回复。（） 投标方提供仪器设备的免费保修期主机一年，配件一年（保修期内免费维修并更换除消耗品以外的零部件，维修人员的路费、食宿等自理）。（）投标方提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器说明书，并指导在使用该设备时的操作注意事项等。（） 投标方提供配套软件至少三年的免费升级服务。（）投标方需将设备运送指定地点，并免费提供设备调....
发布媒体:
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