原子层沉积设备
项目所在采购意向：
中国科学院大连化学物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院大连化学物理研究所
采购项目名称：
原子层沉积设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
在大比表面积、三维多孔结构的碳毡/石墨毡材料上（样品尺寸不小于长*宽为厘米*厘米），实现高均匀、高致密、高结合力的金属氧化物（如？？, ？, ？等）或氮化物催化/修饰层沉积，以显著提升电极的电化学活性、抗腐蚀性和循环寿命；同时实现多种功能性薄膜材料的精确可控生长。满足沉积物的纯度、致密性、均匀性以及台阶覆盖率较高。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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