哈尔滨工业大学（深圳）真空电子束蒸镀系统设备采购项目意向公开

哈尔滨工业大学（深圳）真空电子束蒸镀系统设备采购项目意向公开 采购单位: 哈尔滨工业大学（深圳） 项目名称: 真空电子束蒸镀系统设备采购项目 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 电子光学及离子光学仪器 采购需求概况: 为满足科研需求，现计划采购套英寸高真空电子束蒸镀系统 ，旨在实现大面积高质量薄膜的稳定制备。该系统必须能够提供优于 ×^-的极限真空环境 ，并确保在英寸样品范围内的镀膜厚度均匀性优于±% 。核心蒸发源需配备个容量为的坩埚，且具备自动旋转选择坩埚及电子束自动扫描的功能 。为达到真空要求，系统需配置抽速不低于 /的前级泵 和抽速不低于 /的高真空冷泵 。此外，系统需搭载全自动控制系统，具备用户权限管理、工艺流程一键启动、数据记录与故障报警等功能 。供应商须承诺在合同签订后个月内完成交货 ，并提供自设备验收合格之日起不少于年的整机质保服务。 联系人: 肖老师 联系电话: 预计采购时间: - 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准