原子层沉积系统
项目所在采购意向：
年月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
原子层沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他电工、电子生产设备
采购需求概况 ：
实现亚纳米级介质薄膜的精确控制，界面粗糙度≤.；采购台，需配备原位膜厚监测系统，符合 级洁净标准，提供个月质保（含关键部件延保），个月内完成安装验收。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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