多层沟道工艺加工晶圆 项目所在采购意向: 华中科技大学年至月政府采购意向 采购单位: 华中科技大学 采购项目名称: 多层沟道工艺加工晶圆 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 电子、通信与自动控制技术研究服务 采购需求概况 : 为验证新材料在能否兼容于 工艺流程,需要 的工艺代工。需要反复验证开发工艺。 多层的沟道深孔工艺 . 提供设计晶圆,英寸。 . 按照要求加工,完成金属栅和介质的堆叠。 . 按照设计进行深孔刻蚀。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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