石英双面精密光刻系统-招标公告
(招标编号:--)
招标项目所在地区:北京市
一、招标条件
本石英双面精密光刻系统(招标项目编号:--),已由项目审批/核准/备案机关批准,项目资金来源为详见招标公告七、其他公告内容,招标人为北京遥测技术研究所。本项目已具备招标条件,现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模:详见招标公告七、其他公告内容 。
招标内容与范围:本招标项目划分为标段 个标段,本次招标为其中的:
石英双面精密光刻系统
三、投标人资格要求
石英双面精密光刻系统:
详见招标公告七、其他公告内容
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间:年月日时分秒---年月日时分秒
获取方法:详见招标公告七、其他公告内容
五、投标文件的递交
递交截止时间:年月日时分秒
递交方法:详见招标公告七、其他公告内容
六、开标时间及地点
开标时间:年月日时分秒
开标地点及方式:详见招标公告七、其他公告内容
七、其他公告内容
石英双面精密光刻系统已具备招标条件。资金来源国拨。中船国际建设工程管理咨询(北京)有限公司(招标代理机构)受北京遥测技术研究所(招标人)的委托,对该项目进行国际公开招标采购。
. 招标范围
. 货物名称:石英双面精密光刻系统
. 招标编号:--
.设备用途:石英双面精密光刻系统是石英产品线的关键加工设备,配合光刻工艺可以将掩模图形转移到衬底表面的光刻胶图形上,特别是微传感器、微执行器、微结构等器件,可以在衬底正反面制作出有相应位置要求的光刻胶图形,再经历其它工艺及反复光刻,从而形成具有特殊功能的器件。光刻系统根据曝光方式可分为接触式、接近式....
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