项目概况 等离子增强化学气相沉积系统 招标项目的潜在投标人应在华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路号国投财富广场号楼室）获取招标文件，并于年月日 点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：--
项目名称：等离子增强化学气相沉积系统
预算金额：. 万元（人民币）
采购需求：
碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成，等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺，具有沉积速率快，沉积温度低的特点，其原理是在射频源驱动下，通过感应耦合方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成高密度等离子体，通过气路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体；等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质，在衬底材料（例如硅、砷化镓等半导体材料）上沉积成固体薄膜，对推进碳基集成电路的研发非常重要。具体详见招标文件第四章采购需求。
合同履行期限：合同签订后天交货并安装完毕
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
.本项目的特定资格要求：()投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（...）、中国政府采购网（...）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；()不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；()投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；()本项目不接受联合体投标；()本项目接受进口产品；()本项目非专门面向中小企业
三、获取招标文件
时间：年月日 至年月日，每天上午:至:，下午:至:。（北京时间，法定节假日除外）
地点：华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路号国投财富广场号楼室）
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发布媒体:
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