租赁设备的性能指标要求 高稳定性的设备是外延工艺规律摸索和优化的基础，主要要求如下：高工作温度与转换效率的能带设计--层厚亚埃级精度要求，原子级表面粗糙度，％以内精度的组分的要求 高精度的组分与厚度控制要求---小时内＜％的束流波动 高失配体系的应变平衡控制，多组分材料的工艺重叠窗口很窄，温度均匀性小于℃； 面内束流、温度的均匀性小于％ 高速、高可靠的源炉挡板：每片上千次开关，-开关速度。信息来源
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