项目概况
东南大学集成电路学院高温化学气相沉积外延炉采购项目的潜在投标人应在交易平台（://..）获取招标文件，并于年月日点分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
.项目编号：
.项目名称：东南大学集成电路学院高温化学气相沉积外延炉采购项目
.预算金额：万元
.最高限价：万元
.采购需求：
项目地点：东南大学无锡校区
项目概况：集成电路学院采购高温化学气相沉积外延炉套，主要技术要求如下:
()高温化学气相沉积外延炉一台，需同时实现型碳化硅外延生长和型碳化硅外延生长及其他气相沉积工艺；采用单腔传片的水平式或垂直式结构；允许最大晶圆尺寸英寸，并可向下兼容寸整晶圆；
()工艺反应气体包括/、，工艺载气，掺杂源包括和；
()设备需同时具备型和型碳化硅外延生长能力，并且提供型碳化硅外延生长相关的腔体及配件，和型碳化硅外延生长相关的腔体及配件，以及按照至少的外延生长厚度备件；
()需将设备搬运至指定地点，完成卸货、搬入实验室，并且提供设备在二次配过程中的必需物件及调试设备，所有二次配费用包含在总报价中。
不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。
.合同履行期限：合同签订后个月设备安装调试合格。
.行业划分：工业
. 本项目(非专门)面向中小企业采购。
. 本项目(非专门)面向监狱企业来购。
. 本项目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。
. 本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
（）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；
（）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供年度的财务报告，或投标截止时间前六个月内银行出具的资信证明）；
（）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；
（）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至....
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