半自动探针台 项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向 采购单位: 中国科学院微电子研究所 采购项目名称: 半自动探针台 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: -半导体器件参数测量仪 采购需求概况 : 采购标的名称:半自动探针台 主要功能: 研究先进工艺及器件特性,验证工艺设计及建模平台,满足极端复杂测试要求。 采购标的数量:台 质量要求: 、英寸并向下兼容; 、支持变温自动测试和低噪量测; 、支持半自动-/-, 和测量; 、要求重复性好,超低泄漏和低噪声; 、热致漂移可以自动校正; 、快速提供各种精确的模型参数; 服务、安全、时限等要求: 提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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