存储芯片晶圆级测试系统 项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向 采购单位: 中国科学院微电子研究所 采购项目名称: 存储芯片晶圆级测试系统 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: -半导体器件参数测量仪 采购需求概况 : 采购标的名称:存储芯片晶圆级测试系统 主要功能: 搭配测试板卡直接对晶圆测试,准确测取晶圆数据,分析晶圆不同位置的器件性能,分析工艺参数对器件影响,反馈到光刻制程,建立器件可靠性与光刻参数工艺库,目标提高测试和工艺优化迭代效率。 采购标的数量:台 质量要求: 、可实现对新型存储器芯片的性能测试; 、最多提供路数字通道资源,可进行最多并行同测; 、可与/连接,进行自动测试; 、最大支持路源,路,路单元和卡; 、支持最高工作频率;测试通道频率支持最高。 服务、安全、时限等要求: 提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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