二维半导体设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
二维半导体设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购八英寸晶圆级二维材料金属有机化学气相沉积设备台，具备绝缘衬底上（蓝宝石、二氧化硅）生长 英寸晶圆级二维半导体材料（主要是过渡金属硫化物）及其异质结的工艺能力，且尺寸可向下兼容；生长出的材料均匀度 &;%, 缺陷密度 &;* -，单一晶畴取向，可重复性高；设备配备两个腔室淋浴喷头，无腔室前预反应；具备多温区加热和旋转，加热范围 - 摄氏度。目前先导中心没有这类设备，无法满足项目的研制需求，故需要专门配置购置。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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