减压硅锗外延设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
减压硅锗外延设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购减压硅锗外延设备台，该设备主要用于面向高性能的晶体管研发需要的同时引入型与型锗硅源漏及高迁移率锗硅沟道，在同一硅片上分别为、沟道提供应力，并形成高迁移率的不同掺杂的锗硅沟道。以及器件原位掺杂源漏区域的单晶材料制备。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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