像素探测器芯片加工流片
项目所在采购意向:
中国科学院近代物理研究所年至月政府采购意向
采购单位:
中国科学院近代物理研究所
采购项目名称:
像素探测器芯片加工流片
预算金额:
.万元(人民币)
采购品目:
电子和通信测量仪器零部件
采购需求概况 :
名称:像素探测器芯片加工流片。 先导项目四开发高性能像素探测器芯片,需要委托乙方在.μ工艺上完成像素探测器芯片的加工流片,以验证像素探测器芯片的实际性能。 . 工作条件: .. 适于在气温为摄氏-℃~+℃的环境条件下工作; .. 电源电压为./.。 . 规格、技术要求及参数: 工艺及器件的技术要求: .. .μ体硅工艺或更小技术节点; .. 支持.核心器件与. 器件; .. 支持高阻电阻,电容与顶层厚金属(~.μ )电感工艺; .. 支持四阱工艺:阱,深阱,阱,深阱,以满足探测器像素与周边电路的电学隔离,获得更好的电离电荷俘获效率与高信噪比; .. 支持高阻晶圆(~欧姆)或者高阻外延晶圆(&;欧姆,并且外延厚度&; μ)流片; .. 具备完整的( )库,全程使用技术指导以及后期验证辅助: .. 具备完整的数字电路标准单元库,并且支持深阱工艺,以满足探测器像素阵列与数字电路的电学隔离; .. 具备完整的单元库,并且支持深阱工艺,以满足探测器像素与的电学隔离; 在满足上述工艺与器件要求的基础上,进行一批次流片 .. 单个面积为 * ; .. 二合一光罩或普通光罩; .. 交付至少片裸。 二、售后服务要求:(其他) 质保期不少于年。 三、交货期:合同签订后 日内交货。
预计采购时间:
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