高通量模块化空间润滑薄膜阵列型沉积系统
项目所在采购意向：
中国科学院兰州化学物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院兰州化学物理研究所
采购项目名称：
高通量模块化空间润滑薄膜阵列型沉积系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
金属表面处理设备
采购需求概况 ：
拟采购的高通量模式化空间润滑薄膜线列型沉积系统可完成小靶源条件下大工件的快速固体润滑处理，并获得大尺寸复杂形状工件的固体润滑处理的实施工艺，实现对大尺寸异形工件的薄膜润滑性能的质量管控，满足空间有效载荷后续异形工件的固体润滑处理难题。.三腔室，可调移动 .极限真空度：优于.-
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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