白光干涉仪采购项目
项目所在采购意向：
中国科学院深海科学与工程研究所年月政府采购意向
采购单位：
中国科学院深海科学与工程研究所
采购项目名称：
白光干涉仪采购项目
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
光学测试仪器
采购需求概况 ：
为深海地质地球化学、深海极端环境模拟、深海生物学、海洋科学与技术等学科提供设备支撑，主要涉及研究领域有：深海高压环境下材料微观形貌形成机理与表征、深海深渊微纳器件性能与结构的影响机制、深海探测传感器制造新方法与原理、深海深渊探测传感器的柔性封装技术研究等。该设备性能指标要求如下： ）垂直测量范围：.纳米-毫米； ）垂直分辨率：.纳米； ） 重现性：.纳米； ）垂直扫描速度：可达微米/秒； ）横向分辨率：.至.微米； ）具备深孔和深槽测量能力，可测量:高深比的孔和:高深比的槽，提供软件界面截图，软件界面需同时显示三维轮廓图、剖面二维图、实测数据作为证明资料 ）具备微凸结构共面性高通量测试能力，提供软件界面截图，需同时显示三维轮廓图、剖面二维图、实测数据作为证明资料等
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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