分区域钝化研究平台
项目所在采购意向：
中国科学院上海技术物理研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称：
分区域钝化研究平台
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他仪器仪表
采购需求概况 ：
平台应至少包括以下腔室：氧化硅磁控溅射腔室、硫化锌磁控溅射腔室、离子束刻蚀腔室和样品交换腔室。其中，样品交换腔室位于平台中央位置，其余腔室呈环形排布，利用中央真空机械手在各腔室之间进行样品转移；平台需设计过渡接口，能够与设备前端模块（）进行互联以进行样品转移和交接。样品尺寸基于直径英寸。样品的全部工艺均应保证样片温度不高于摄氏度。所有腔室样品台的制冷与泵、靶台的制冷分开；样片传输平稳，可靠，不得有掉片、卡片、倾覆、磕碰等情况。工艺过程及样品传输过程自动运行，无需人工干预。平台各工艺腔室配置独立的、工控机、控制软件。各工艺腔室既可作为芯片自动化制造系统的一部分进行自动运行，也可以作为单独工艺点独立使用。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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