等离子化学气相沉积
项目所在采购意向:
北京大学年月政府采购意向
采购单位:
北京大学
采购项目名称:
等离子化学气相沉积
预算金额:
.万元(人民币)
采购品目:
集成电路参数测量仪
采购需求概况 :
主要适用于英寸及向下兼容的等离子体化学气相沉积薄膜加工工艺,被广泛应用于制造光电子芯片、芯片、微纳结构、光学器件等,是研究微纳光子学和片上光电集成器件制备的必须设备
预计采购时间:
-
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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