等离子化学气相沉积 项目所在采购意向: 北京大学年月政府采购意向 采购单位: 北京大学 采购项目名称: 等离子化学气相沉积 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: 集成电路参数测量仪 采购需求概况 : 主要适用于英寸及向下兼容的等离子体化学气相沉积薄膜加工工艺,被广泛应用于制造光电子芯片、芯片、微纳结构、光学器件等,是研究微纳光子学和片上光电集成器件制备的必须设备 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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