华南师范大学关于华南师范大学电子束曝光系统采购项目招标预告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔〕号）等有关规定，现将本单位年月至年月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 华南师范大学电子束曝光系统采购项目 标的名称：电子束曝光系统 标的数量： 主要功能或目标：高精度曝光：电子束曝光技术能够实现纳米级别的精度，这使得它在制造纳米线等微小结构时非常有用 。微电子制造：该技术广泛应用于半导体、光伏、液晶显示器等领域，特别是在微电子制造过程中，用于制作微细图形。电子束扫描显微镜成像：除了曝光功能外，电子束曝光系统还具备电子束扫描显微镜成像功能，可用于观察和分析样品的微观结构。 微纳米器件加工：电子束曝光技术可以制备硅基微型器件、纳米微孔等微纳米级器件。 需满足的要求：二次电子像分辨率：≤. ( )，≤. ( )；加速电压：. ～ 连续可调；束流范围：热场发射电子枪，数～()，分析效率极高；放大倍率：×~×,,(底片倍率)，×~×,,(显示器倍率)；电子枪：浸没式肖特基热场发射电子枪，自动合轴调整功能；电子枪寿命：质保期≥年，业内平均寿命年以上。 按规定落实 ,,. 年月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 年月日