深圳大学激光直写光刻机意向公开

深圳大学激光直写光刻机意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 激光直写光刻机 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 激光仪器 采购需求概况: 激光直写光刻机需具备 和 两种激光光源，最小曝光结构尺寸需达到，同时配备不少于三种曝光分辨率书写模式如、以及用于快速完成不同细节要求的结构；为满足多层结构加工需求，正面套刻需要保证对位精度，套刻精度不大于；此外灰度曝光能力不低于阶，实现精细控制灰度曝光精度；可加工的尺寸应满足八寸片且向下兼容；售后需提供年维保。 联系人: 刘老师 联系电话: 预计采购时间: - 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准