寸等离子增强气相沉积
项目所在采购意向：
东南大学年至月政府采购意向
采购单位：
东南大学
采购项目名称：
寸等离子增强气相沉积
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
热处理设备
采购需求概况 ：
具有三个以上英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积,,等薄膜，英寸晶圆片内不均匀度小于%。
预计采购时间：
-
备注：
-热处理设备
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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