深圳大学自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开

深圳大学自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 自动玻璃通孔专用溅镀机 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 真空应用设备 采购需求概况: 该溅镀机专用于玻璃通孔（）的金属化工艺，需满足高深宽比（≥:）通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层（）及玻璃基板（×）的溅镀工艺，兼容英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠（如/、/、/等）的连续溅镀，确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率（≥%）。 预计采购时间: - 联系人: 张老师 联系电话: 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准