深圳大学玻璃通孔清洗系统意向公开

深圳大学玻璃通孔清洗系统意向公开 采购单位: 深圳大学 项目名称: 玻璃通孔清洗系统 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况: 该项目需包含清洗设备和强碱供液系统。该项目所含的清洗设备用于硅片或玻璃基板的湿法清洗，需满足标准（/）工艺要求；清洗设备需具备多槽式设计，支持去离子水冲洗、氮气干燥等功能；清洗设备需具备板级及晶圆级兆声系统、超声系统、清洗系统、干燥系统、自动传送系统，清洗设备兆声清洗功率需≥，且所有系统均兼容英寸晶圆和*玻璃基板。该项目所含的强碱供液系统用于玻璃通孔的湿法清洗与刻蚀。 预计采购时间: - 联系人: 陈老师 联系电话: 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准