深圳技术大学教学线功能薄膜材料制备设备意向公开

深圳技术大学教学线功能薄膜材料制备设备意向公开 采购单位: 深圳技术大学 项目名称: 教学线功能薄膜材料制备设备 预算金额（元）: ,,. 采购品目: 其他仪器仪表 采购需求概况: 、贴片固态源扩散炉. 炉管适配晶圆尺寸：英寸及以下圆片，产量≥片/批. 炉体及工艺管：炉体内径（三段控制）：≥φ；石英管直径：≥φ；炉体：温度 ℃～℃； . 均热区长度及精度：℃≤工作温度≤℃-±.℃；工作温度≤℃-±℃；升温时间(从室温升至℃)-≤。、快速退火炉. 样片尺寸：英寸圆片及向下兼容；加热温度范围:室温~℃，加热方式:卤素灯管；. 升温速率：≥℃/裸晶圆；≥℃/碳化硅载盘；. 温度均匀度: ＜℃，均匀度≤±℃;≥℃，均匀度≤±%，温度控制重复性:±℃，恒温持续时间:可依据要求编程；. :路，氧气、氮气或氩气。、等离子增强化学气相沉积. 样片尺寸：英寸圆片及向下兼容；. 反应腔室：电容耦合等离子体模式；一体化加工腔室,进气方式：喷淋头进气；. 薄膜均匀性±%；. 真空系统：罗茨泵和机械泵组合，真空测量：薄膜规，反应腔室真空度小于；. 气路系统：路进气，、、、、、、或, 数字流量计； 管路配件； . 射频系统：射频功率源，自动匹配；. 温度控制：载片台温度≤℃，温控精度± ℃。、磁控溅射台. 样品基台：直径英寸样品，满足多个小基片同时处理；. 反应腔室：不锈钢材质，传输腔铝一体加工，自动传输；. 靶座系统：英寸圆形靶座个，位于腔室下部；. 真空性能：本底真空优于.-，真空系统：分子泵，机械泵；. 气路系统：标配路进气，和；. 电源系统：/.自动匹配射频源套；直流源套；.....