天津大学电感耦合等离子体刻蚀机采购项目
项目所在采购意向：
天津大学年至月政府采购意向
采购单位：
天津大学
采购项目名称：
天津大学电感耦合等离子体刻蚀机采购项目
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
样品前处理及制备仪器
采购需求概况 ：
等离子蚀刻是指通过将加速粒子轰击到衬底表面来从衬底去除蚀刻，最常用于半导体、显示器和制造中，可刻蚀石墨烯、金刚石等材料。电感耦合等离子体蚀刻机在石墨烯刻蚀中具备极高的匹配性和可靠性，主要体现在其可刻蚀样品尺寸为英寸级、高真空环境、背氦冷却和水冷冷却样品、高刻蚀均匀性应用上。采购数量为台。符合质量、服务安全和时限的要求。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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