化学气相沉积工艺交互式系统
项目所在采购意向：
大连理工大学年月政府采购意向
采购单位：
大连理工大学
采购项目名称：
化学气相沉积工艺交互式系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他试验仪器及装置
采购需求概况 ：
化学气相沉积工艺交互式系统，包括等离子体化学气相沉积原理机台和微波等离子体化学气相沉积工艺设备台，以及正常使用所需外围条件。等离子体化学气相沉积原理机应包括：传输平台、等离子体系统、腔室系统、软件控制系统、安全模块；配备晶圆载台仿真加热，腔室带有加热模块，加热参数可设置；真空系统配备工业机械真空泵、皮拉尼真空规、电磁阀、放气阀；软件部分配备控制软件，可视化图形操作界面，能够模拟系统实时状态参数的显示；配有虚拟现实模块，包含自动和手动拆解功能，可还原设备外观和使用环境。微波等离子体化学气相沉积工艺设备，主要参数应满足：加热系统温控范围≤℃；频率范围：±；输出功率范围：-连续可调；有效沉积区域：≥Φ；配备气路≥路；制氢机的制备纯度≥.%，流量≥/。提供运输、安装和售后服务。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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